微机械振动陀螺仪的简要工作原理

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     陀螺系统组成见图1，它由敏感元件、驱动 电路 、 检测电路 和力反馈电路等组成。在梳状静电 驱动器 的差动电路上分别施加带有直流偏置但相位相反的交流电压，由于交变的静电驱动力矩的作用，质量片在平行于衬底的平面内产生绕驱动轴Z轴的简谐角振动。当在振动平面内沿垂直于检测轴的方向（X方向）有空间角速度Ω输入时，在哥氏力的作用下，检测质量片便绕检测轴（Y轴）上下振动。这种振动幅度非常小，可以由位于质量片下方、淀积在衬底上的电容极板检测，并通过电荷 放大器 、相敏检波电路和解调电路进行处理，得到与空间角速度成正比的电压信号。


微机械振动陀螺仪的简要工作原理

　　在科研及加工过程中，一个重要的内容就是检测 陀螺仪 的特性，如工作状态谐振频率、带宽增益、Q值等，于是就提出了微机械惯性 传感器 检测平台的研制任务。根据陀螺仪的工作原理，整个 仪器 包括两大部分：驱动信号发生部分和 表头 的输出信号检测部分。驱动信号发生部分对待测的惯性传感器给予适当的驱劝信号，使传感器处于工作状态。信号检测部分要求检测出微小电容变化，经过放大、解调处理后，将模拟量转换成数字量采集到PC机中，分析输出信号，以确定惯性表的特性。